广东省真空学会关于发布《半导体设备用低温泵评价规范》团体标准的公告

2024年08月30日 11:52:26 人气: 96 来源: 广东省真空学会

　　根据《广东省真空学会团体标准管理办法》规定，由中山凯旋真空科技股份有限公司牵头制定的《半导体设备用低温泵评价规范》团体标准，业已通过专家审定并经公示无异议。经学会批准和编号，现对该项团体标准予以发布，于2024年8月2日起实施。

　　
本公告及标准文本可通过全国团体标准信息平台查阅。在标准使用过程若有疑问，请径向学会联系。

　　联系人：唐振方

关键词：低温泵

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